专利名称：一种用于硅片的喷砂装置专利类型：实用新型专利发明人：陈小力,王继根申请号：CN201520861850.0申请日：20151030公开号：CN205057817U公开日：20160302
摘要：本实用新型涉及一种用于硅片的喷砂装置，解决了现有技术中喷砂设备结构不合理、设备检修困难的不足。本实用新型提供的一种用于硅片的喷砂装置，箱体分为上腔和下腔，在上腔内设置有喷枪、排砂口，下腔内设置喷砂器，排砂口通过排砂管与喷砂器连接，可以方便对砂料进行回收使用，喷砂器通过喷砂管与喷枪连接，以配合喷枪完成喷砂操作，硅片喷砂操作方便而且砂料利用率高；另外，位于下腔的喷砂器固定在固定板上，并且，固定板滑动连接在滑轨上，也就是说需要对喷砂器进行检修时，可以先将锁紧螺钉松开，然后将固定板抽出下腔，位于固定板上的喷砂器也会被固定板带出下腔，此时，即可方便地对喷砂器进行检修。
申请人：浙江辉弘光电能源有限公司
地址：314200 浙江省嘉兴市平湖市经济开发区新兴三路899号
国籍：CN
代理机构：杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：胡根良
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