专利名称：一种盘状物夹持装置专利类型：发明专利
发明人：王锐廷,张豹,姬丹丹,王浩,李伟申请号：CN201510104513.1申请日：20150310公开号：CN104701233A公开日：20150610
摘要：本发明公开了一种盘状物夹持旋转装置，在基体的周缘设置多个支撑销，支撑销由行程变换机构驱动做升降运动，通过卡爪和支撑销相互配合，在取放盘状物时，支撑销做上升运动，远离卡盘，保证机械手末端执行器的取放片动作，在盘状物处于工艺状态时，支撑销做下降运动，贴合卡盘，避免硅片的背面受到污染，本发明合理的控制盘状物与卡盘之间的距离，具有结构简单、动作控制方式便捷可靠、可与各类工艺处理腔体相兼容的优点。
申请人：北京七星华创电子股份有限公司
地址：100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
国籍：CN
代理机构：上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
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