专利名称：一种基于MEMS机制的可调滤波器专利类型：实用新型专利发明人：江涛,吴利敏,朱华申请号：CN201821570090.8申请日：20180926公开号：CN208636567U公开日：20190322
摘要：本实用新型公开了一种基于MEMS机制的可调滤波器，具有密封的盒体，在盒体的侧壁A上设有光源入口，在盒体的侧壁B上装有光电转换器，并在光电转换器的光源输入端装有球形透镜；在盒体的侧壁C上设有MEMS反射镜，MEMS反射镜由MEMS微电机驱动进行左右转向，在MEMS反射镜上镀有反射膜；在盒体内装设有零膨胀玻璃块，零膨胀玻璃块上装有滤光片，滤光片的正、反面依次与MEMS反射镜、球形透镜相对应，并在滤光片的正、反面对应镀有反射膜和增透膜；本实用新型体积小、结构紧凑、耦合方便，通过采用MEMS驱动介质膜滤波中入射角的改变，实现了精准地输出波长控制与多波长的扩展，并且调谐速度快，响应速度得到大大提高。
申请人：黄石晨信光电股份有限公司
地址：435000 湖北省黄石市大冶罗桥开发区港湖路4号
国籍：CN
代理机构：黄石市三益专利商标事务所
代理人：沈军
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