专利名称：一种重稀土金属靶材修复方法专利类型：发明专利
发明人：王瑜,李艳丽,夏峰,刘吉祥,周文洁,张雪飞,王雷申请号：CN201910706295.7申请日：20190801公开号：CN110373642A公开日：20191025
摘要：本发明提供了一种重稀土金属靶材修复方法，属于磁控溅射表面处理技术领域。本发明提供的重稀土金属靶材修复方法，包括以下步骤：将合金粉填充到待修复靶材的损耗区，采用真空烧结法或高压冷喷涂法进行修复；所述合金粉包括镝铽合金，或者，镝铽的一种或两种和两性金属中的一种或两种。本发明以合金粉为修复材料，采用真空烧结法或高压冷喷涂法进行修复，合金粉起到了钎焊作用，降低了后续靶材修复时的烧结温度，而且降低了磁片镀膜后的扩散温度，降低了修复难度和成本。本发明修复后的靶材组织有效解决了现有靶材表面产生缺陷后无法再利用的问题；且工艺简单、周期短、使用效果接近新靶材，具有良好的应用价值。
申请人：包头金山磁材有限公司
地址：014030 内蒙古自治区包头市稀土高新区稀土大街8-07号
国籍：CN
代理机构：北京高沃律师事务所
代理人：马云华
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