专利名称：微机械转速传感器组件和相应的制造方法专利类型：发明专利
发明人：N·博德,A·拉斯尔,B·库尔曼,J-T·利瓦尔德,M·屈内
尔,N·F·库尔曼,O-A·普吕茨,P·德根费尔德-舍恩堡,R·努尔
申请号：CN201811064369.3申请日：20180912公开号：CN109490568A公开日：20190319
摘要：本发明实现一种微机械转速传感器组件和一种相应的制造方法。所述微机械转速传感器组件包括能够通过所述驱动装置经由所述驱动框架装置围绕第一轴(z)旋转振荡地被驱动的第一转速传感器装置，用于感测围绕第二轴(y)的第一外部转速和围绕第三轴(x)的第二外部转速，其中，第一、第二和第三轴相对彼此垂直地布置；和能够通过驱动装置经由驱动框架装置沿着第二轴(y)线性振荡地被驱动的第二转速传感器装置，用于感测围绕第一轴(z)的第三外部转速。第一转速传感器装置通过驱动框架装置与第二转速传感器装置连接。驱动框架装置具有第一驱动框架和第二驱动框架，这些驱动框架能够通过驱动装置沿着第三轴(x)反相振荡地被驱动。
申请人：罗伯特·博世有限公司
地址：德国斯图加特
国籍：DE
代理机构：永新专利商标代理有限公司
代理人：侯鸣慧
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