（12）实用新型专利
（21）申请号 CN201920091687.2 （22）申请日 2019.01.21
（71）申请人 上海福宜真空设备有限公司
地址 201821 上海市嘉定区招贤路778号4幢
（10）申请公布号 CN209669345U
（43）申请公布日 2019.11.22
（72）发明人 熊凯;杨元才;褚景豫;王慧峰;钱鹏亮 （74）专利代理机构
代理人
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种大型真空镀膜连续线腔体
（57）摘要
本实用新型公开了一种大型真空镀膜连续
线腔体，包括进样室；中间阀门；第一缓冲室；镀膜室；第二缓冲室；在进样室的一端设置第一阀门；在进样室的另一端与中间阀门的一端进行连接；中间阀门的中间设置密封阀板；在中间阀门的另一端连接第一缓冲室的一端，在第一缓冲室的另一端连接镀膜室的一端；镀膜室的另一端连接第二缓冲室的一端，第二缓冲室设置第二阀门；在本实用新型中的技术效果在于，大型真空
镀膜连续线腔体能够被应用于真空镀膜连续生产，满足真空镀膜连续生产对于镀膜腔体的要求。
法律状态
法律状态公告日
2019-11-22
授权
法律状态信息
授权
法律状态
权利要求说明书
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说明书
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