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材料的微区应力测试系统

来源：世旅网

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201410143013.4 （22）申请日 2014.04.10

（71）申请人中国科学院半导体研究所

地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号

（10）申请公布号 CN103940537A

（43）申请公布日 2014.07.23

（72）发明人高寒松;陈涌海;刘雨;张宏毅;黄威;朱来攀;李远;邬庆（74）专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司

代理人宋焰琴

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

材料的微区应力测试系统

（57）摘要

本发明公开了一种材料的微区应力测试系

统，其采用微区透射差分偏振谱法(μ-TDS，microscopic transmission difference spectroscopy)建立。整个测试系统包括线偏振激光源(1)、光相位调制器(2)、斩波器(3)、聚焦物镜(41)、收集物镜(42)、检偏器(6)和信号采集系统(7)，采用计算机控制逐点扫描并采集处理数据。本发明通过测量材料表面相互垂直的两个方向上的光强反射比率差ΔT／T求得测试材料的应

力分布，可以克服现有测试系统带来的负面影响，对于材料不具有损伤性，小范围的表征材料应力的分布情况。且测试过程简单快捷，测试精度高。

法律状态

法律状态公告日

2014-07-23 2014-08-20 2016-07-20

法律状态信息

公开

实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态

公开

实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

权利要求说明书

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说明书

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