专利名称：一种多晶硅半熔铸锭方法及装置专利类型：发明专利
发明人：田进,刘波波,田伟,赵俊,李谊申请号：CN201610653107.5申请日：20160810公开号：CN106087043A公开日：20161109
摘要：本发明公开了一种多晶硅半熔铸锭方法及装置，将多晶硅碎料均匀铺设在石英坩埚底部，然后依次进行抽真空、加热，得到加热后的碎片层；将铸锭炉加热器的温度升高，再调节顶部加热器和侧部加热器功率比让底部有持续的冷量，确保籽晶不被熔化，在降低温度后，同时调整顶部加热器和侧部加热器功率比，并保持温度不变，进行长晶；继续降低铸锭炉加热器的温度，调节顶部和侧部加热器的功率比系数控制长晶速率进行长晶，长晶后，再依次进行退火、冷却，既得到所述半熔高效多晶硅铸锭。本发明一种多晶硅半熔铸锭方法及装置，不需要更改加热器结构，操作简单，通过特定工艺参数即可达到有效排杂和提高产品质量的目的。
申请人：中联西北工程设计研究院有限公司
地址：710082 陕西省西安市劳动路81号
国籍：CN
代理机构：西安通大专利代理有限责任公司
代理人：徐文权
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容