(12)发明专利申请
(21)申请号 CN201910743215.5 (22)申请日 2019.08.13 (71)申请人 南京邮电大学
地址 210003江苏省南京市雨花台区西春路1号
(10)申请公布号 CN110456529A
(43)申请公布日 2019.11.15
(72)发明人 陈鹤鸣;闫飞旭
(74)专利代理机构 南京纵横知识产权代理有限公司
代理人 董建林
(51)Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
(54)发明名称
一种基于PN结的谐振腔型电光调制器
(57)摘要
本发明公开了一种基于PN结的谐振腔型
电光调制器,属于半导体技术领域,包括基底,和硅基光子晶体平板。硅基光子晶体平板中间为光子晶体波导,平板的中心区域为谐振腔,谐振腔区域外部设有正电极和负电极。谐振腔内分布有P型掺杂区和N型掺杂区。本发明提供的电光调制器,易于集成且调制速率高。
法律状态
法律状态公告日
2019-11-15 2019-11-15 2019-12-10
公开 公开
法律状态信息
公开 公开
法律状态
实质审查的生效 实质审查的生效
权利要求说明书
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说明书
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